第一代：世界上第一臺(tái)測(cè)量機(jī)是英國(guó)的FERRANTI公司于1959年研制成功，當(dāng)時(shí)的測(cè)量方式是測(cè)頭接觸工件后，靠腳踏板來(lái)記錄當(dāng)前坐標(biāo)值，然后使用計(jì)算器來(lái)計(jì)算元素間的位置關(guān)系。1964年，瑞士SIP公司開(kāi)始使用軟件來(lái)計(jì)算兩點(diǎn)間的距離，開(kāi)始了利用軟件進(jìn)行測(cè)量數(shù)據(jù)計(jì)算的時(shí)代。70年代初，德國(guó)ZEISS公司使用計(jì)算機(jī)輔助工件坐標(biāo)系代替機(jī)械對(duì)準(zhǔn)，從此測(cè)量機(jī)具備了對(duì)工件基本幾何元素尺寸、形位公差的檢測(cè)功能。

    第二代：隨著計(jì)算機(jī)的飛速發(fā)展，測(cè)量機(jī)技術(shù)進(jìn)入了CNC控制機(jī)時(shí)代，完成了復(fù)雜機(jī)械零件的測(cè)量和空間自由曲線(xiàn)曲面的測(cè)量，測(cè)量模式增加和完善了自學(xué)習(xí)功能，改善了人機(jī)界面，使用專(zhuān)門(mén)測(cè)量語(yǔ)言，提高了測(cè)量程序的開(kāi)發(fā)效率。

    第三代：從90年代開(kāi)始，隨著工業(yè)制造行業(yè)向集成化、柔性化和信息化發(fā)展，產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造和檢測(cè)趨向一體化，這就對(duì)作為檢測(cè)設(shè)備的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)提出了更高的要求，從而提出了第三代測(cè)量機(jī)的概念。其特點(diǎn)是：1、具有與外界設(shè)備通訊的功能；2、具有與CAD系統(tǒng)直接對(duì)話(huà)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)協(xié)議格式；3、硬件電路趨于集成化,并以計(jì)算機(jī)擴(kuò)展卡的形式,成為計(jì)算機(jī)的大型外部設(shè)備。